平田機工 －Ｈｉｒａｔａ－ 半導体関連生産設備 ロードポート他

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平田機工の半導体関連生産設備事業分野では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。
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At semiconductor related production equipment, we manufacture and market the Load Port which transfer silicon wafer to each processing equipment, wafer transfer robots(Atmospheric type and vacuum type),and EFEM which integrated the Load Port and wafer transfer robots.